所属分类：研发设备
小型 Inline PVD，单端/双端接口，兼容平面溅射阴极和空心阴极离子镀。
面向大学实验室、科研机构与企业材料实验室，用于薄膜材料沉积工艺的验证与中试。
JSP系列 300mm PVD
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