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紧凑型高真空传输阀,用于产线 Load/Lock 和隔离通道。
紧凑型高真空传输阀,用于产线 Load/Lock 和隔离通道。结构紧凑、占用空间小,适合集成到自动化传输线上,配合真空机械手完成工件的进出腔传输与腔室隔离。
传输阀
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