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CBV 系列型智能流导控制阀是泵端压力控制系统的核心部件，阀门集成了蝶形流导阀体、测量电路、闭环控制计算、通信和阀门驱动电路。内置的控制算法和高速驱动系统可以使系统压力快速达到设定值，并且具有最小的超调量。控制器内置阀体…

紧凑型高真空传输阀，用于产线 Load/Lock 和隔离通道。

空心阴极和热阴极离子源，最大电流 50-150A，中低压工作电压，可用于离子束加热、反应离子辅助沉积等工艺制程。

靶材 2 英寸 - 6 英寸的标准磁控溅射阴极，超高真空、可调节的磁场平衡和强度，DC/RF 兼容，可用于溅射和共溅射系统。

长寿命大功率旋转阴极驱动端，侧装和吊装结构，陶瓷水密封，大面积浮动电刷，最大功率 60kVA 或驱动 2.5 米靶材。用于 GW 级光伏 PVD 产线。

安装于标准 450 平台的多蒸发源共沉积模块，2-6 个独立蒸发源，独立气动挡板，直流闭环电流控制。用于 OLED / 钙钛矿材料研究。

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