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长寿命大功率旋转阴极驱动端,侧装和吊装结构,陶瓷水密封,大面积浮动电刷,最大功率 60kVA 或驱动 2.5 米靶材。用于 GW 级光伏 PVD 产线。
旋转阴极驱动
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